管式真空爐采用技術(shù)，有單管、臥式、可開啟式、單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等多種管式爐型。具有安全可靠、操作簡(jiǎn)單、控溫度高、保溫效果好、溫度范圍大、溫場(chǎng)均勻性高、溫區(qū)多，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、真空退火用的理想產(chǎn)品. 為實(shí)驗(yàn)單位提供具有真空、可控氣氛及高溫的實(shí)驗(yàn)條件下做元素分析、物理測(cè)定、等加熱實(shí)驗(yàn)。并應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米、碳纖維等新材料、新工藝領(lǐng)域中。

管式爐運(yùn)用惰性氣體作為工作氣體時(shí)

1、接通工作氣體氣路，將管式爐氣體出口端銜接機(jī)械泵。

2、翻開管式爐進(jìn)氣閥，合上真空泵電源，翻開出氣閥（留意把住法蘭，防止?fàn)t管受力過大），抽空剛玉管和氣體管路。

3、當(dāng)管式爐真空表到-0.1（指針到止境時(shí)），關(guān)閉出氣閥，關(guān)閉進(jìn)氣閥。

4、逆時(shí)針旋動(dòng)旋鈕開氣瓶主閥，順時(shí)針旋動(dòng)旋鈕，遲緩翻開出口減壓閥，使出口吻壓在0.004MPa（2小格）。

5、逆時(shí)針旋動(dòng)旋鈕，遲緩翻開管式爐進(jìn)氣閥；親密留意管式爐氣壓表，確認(rèn)氣壓在0.08MPa以下（如氣壓高于0.08MPa，翻開管式爐出氣閥放氣）。

6、管式爐氣壓表當(dāng)氣壓穩(wěn)定時(shí)，關(guān)閉管式爐進(jìn)氣閥，翻開出氣閥，抽真空到-0.1，關(guān)管式爐出氣閥。

7、反復(fù)4、5步兩次。

8、關(guān)機(jī)械泵，翻開管式爐進(jìn)氣閥。